Typische Anwendungsgebiete bei der Vakuum-Wärmebehandlung sind hochtechnologische Industriezweige, in welchen die Werkstoffe eine besondere Reinheit aufweisen müssen – z.B. Vakuumtechnik und Halbleitertechnik (von Anschlüssen, über Flansche, Dichtungen bis hin zu gesamten Vakuumbehältern und Strukturen). Andere Anwendungsfelder finden sich bei der Herstellung von Bauteilen aus hochreaktiven Werkstoffen (Niob, Zirkon, Tantal, Titan). Oft müssen Halbzeuge und Erzeugnisse im Vakuum gereinigt werden.
